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實(shí)驗(yàn)真空燒結(jié)爐設(shè)備 高溫?zé)Y(jié)爐

所屬分類(lèi):真空碳管燒結(jié)爐

產(chǎn)品型號(hào):

更新時(shí)間:2023-09-28

描述:實(shí)驗(yàn)真空燒結(jié)爐設(shè)備主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。

詳細(xì)信息

實(shí)驗(yàn)真空燒結(jié)爐設(shè)備真空系統(tǒng)采用二級(jí)泵配置,由一臺(tái)K-100油擴(kuò)散泵,一臺(tái)VRD-16機(jī)械泵、手動(dòng)高真空蝶閥、充氣閥、放氣閥、真空壓力表、真空測(cè)量規(guī)管等組成,真空管道與泵的聯(lián)接采用金屬波紋管減緩震動(dòng),真空度的測(cè)量由睿寶數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)執(zhí)行。

實(shí)驗(yàn)真空燒結(jié)爐水冷裝置水冷系統(tǒng)由一臺(tái)進(jìn)出水總管道、閥門(mén)及各支路組成。冷卻水由總進(jìn)水總管進(jìn)入后,經(jīng)過(guò)各支管送到爐門(mén)、爐體、爐底、水冷電極、真空泵、冷阱等這些需要冷卻水的地方,然后匯總到出水總管排出??傔M(jìn)水管路設(shè)有電接點(diǎn)壓力表,具有斷水聲光報(bào)警并切斷電源功能。各支路水管采用透明塑膠軟管,通過(guò)不銹鋼接頭聯(lián)接進(jìn)出水總管道及設(shè)備各進(jìn)出水口。每路冷卻水進(jìn)水管都裝有手動(dòng)閥門(mén),可手動(dòng)調(diào)節(jié)水流量大小。

實(shí)驗(yàn)真空燒結(jié)爐設(shè)備使用注意事項(xiàng)

1、由于模具一般由用戶自備,模具材料基本上選用高純石墨,其耐壓極限為40MPa,建議用戶使用在30MPa以下比較安全,加壓前應(yīng)計(jì)算模具上、下沖頭的面積,再換算成壓力,具體公式如下:

系統(tǒng)允許加壓(噸)=上或下沖頭面積×30MPa ; 如預(yù)先不計(jì)算盲目加壓導(dǎo)致模具、壓塊、發(fā)熱體、保溫屏等石墨制品損壞,本公司概不負(fù)責(zé)。

2、熱電偶為鎢錸型,使用過(guò)會(huì)發(fā)脆,不能接觸。如損壞應(yīng)及時(shí)更換。其型號(hào)是W2型。

3、冬天應(yīng)注意循環(huán)水的保暖問(wèn)題,否則易發(fā)生水管爆裂。

4、使用后爐體應(yīng)保持真空,因爐內(nèi)保溫層易受潮,保真空這樣下次抽真空會(huì)快些。

5、因設(shè)備較復(fù)雜,建議專(zhuān)人使用,專(zhuān)人負(fù)責(zé),對(duì)新手嚴(yán)格實(shí)行用前培訓(xùn),用后檢查,操作使用要有記錄等設(shè)備使用規(guī)定。

 

 

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